一、产品简介
CFB-Z系列脂润滑分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿,轴承采用脂润滑陶磁精密轴承,以更高的可靠性实现了泵的任意角度安装和清洁无油的高真空环境,广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
二、产品特点
三、主要性能指标
| 型号 | CFB-2000Z | ||
| 进气口法兰 | — | LF250 | CF250 | 
| 排气口法兰 | — | KF50 | |
| 抽气速率 | L/s | 2000 | |
| 压缩比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
| 极限压强 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 | 
| 电机转速 | rpm | 24000 | |
| 振动值 | μm | ≤0.1 | |
| 启动时间 | min | <6 | |
| 使用轴承 | — | 脂润滑陶瓷轴承 | |
| 前极泵 | L/s | 15 | |
| 冷却方式 | — | 水冷(风冷) | |
| 冷却水温度 | ℃ | ≤25 | |
| 环境温度 | ℃ | <40 | |
| 冷却水流量 | L/min | 1 | |
| 安装方向 | — | 任意角度 | |
| 重量 | kg | ~30 | |
三、特性曲线及安装尺寸
CFB系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
CFB系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
CFB-2000Z安装尺寸
| 型号规格 | CFB-2000Z | |
| 高真空法兰 | LF250 | CF250 | 
| D1 | Ф290 | Ф305 | 
| D2 | Ф295 | Ф295 | 
| D3 | 274 | 274 | 
| L1 | 114 | 114 | 
| H1 | 317 | 317 | 
| H2 | 262 | 262 | 
| H3 | 97.5 | 97.5 | 
| H4 | 282 | 282 |